Thông số kỹ thuật:

Độ phân giải: tối đa 6 nm (đầu đo 210 mm)

Điểm bắt đầu chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 0.1 mm

Chiều dài que đo: 210 mm; 350 mm; 490 mm

Điểm kết thúc chiều dài di chuyển đầu đo (trục X): 140 mm

350 mm Z-Achse

Không có điều chỉnh góc trục X

Tốc độ định vị: 0.02 – 200 mm/s (trục X)

Độ lệch: 0.350 µm / 60 mm,0.400 µm / 140 mm

Tốc độ đo: 0.02 – 10 mm/s

Dải đo:70 mm (trục Z với đầu đo 350 mm) tối đa 100 mm (đầu đo 490 mm)

Lực đo:4 mN-30 mN, trục Z+ và Z-, điều chỉnh bằng phần mềm